現(xiàn)代無塵室是由美國物理學家威利斯·惠特菲爾德發(fā)明的。惠特菲爾德作為桑迪亞國家實驗室的雇員，于1966年為無塵室設(shè)計了最初的設(shè)計方案。在惠特菲爾德發(fā)明之前，早期的無塵室經(jīng)常遇到顆粒和不可預(yù)測的氣流的問題。Whitfield設(shè)計的無塵室具有恒定的且經(jīng)過嚴格過濾的氣流來保持空間內(nèi)的潔凈。

硅谷的大部分集成電路制造設(shè)施由三家公司制造:MicroAire，PureAire和Key Plastics。他們制造了層流裝置，手套箱，潔凈室和空氣淋浴器，以及用于集成電路“濕法工藝”建造的化學罐和工作臺。這三家公司也是將特氟龍用于氣槍，化學泵，洗滌器，水槍和其他集成電路生產(chǎn)所需設(shè)備的先驅(qū)。William（Bill）C.McElroy Jr.曾擔任三家公司的工程經(jīng)理，制圖室主管，QA/QC和設(shè)計師，他的設(shè)計為當時的技術(shù)增加了45項原始專利。